『主尋問』

Ｈ　成検係の社内検査（データ調べ・引継書・休息状況）

　

○	ステッパーにウエハーを入れてウエハーの露光を完了するまでの間、さっきあなたがおっしゃったステッパーを動作させてる間、検査員は何もすることがないんですか。
	■	することはあります。

○	大きく言って何をしなくちゃいけないんですか。
	■	まず、そのステッパーの経歴を知らなければいけないので、製造時の種類が一杯あるのですが、製造時のデータに目を通したり、また連続、連続で検査をしてますから、前段階の検査の具合、不具合を見たり、また、それによって次の検査の手順とかを決めなければいけないので、お客様の規格書なりを見ながら、どういった順序を踏もうかなというような段取りを構成したりしなければいけない。また検査している間ですが、前に検査をやっているわけですから、その前の検査の値を検査チェックシートなりに、また、お客様用の検査報告書なりに記入したりしなければいけません。

○	大きく分けると、データを調べると。
	■	そうですね。データ、出てきた値、まあウエハーを計測した値をお客様に分かるように直すと言ったら変ですが、お客様の求めてくる条件に合致しているかをチェックする。

○	以前の検査結果のデータを見るというお話ですが、どうしてそれを見る必要があるんですか。
	■	もちろん、関連性能といって、どこかを直せばどこかが悪くなるとか、また、そのステッパーのどこに今、不具合が出ているのかというのを知らなければ、何の検査をしていいかというのは、検査員は、いきなり検査に取り掛かれるわけではないので、上から順番にやっていくというのが基本ですが、そのとおりにやっていけばいいというものではないです。

○	あなたは先ほど、手続の段取りを考えるというふうにおっしゃいましたが、具体的にはどういうことを考えるんですか。
	■	具体的には、例えば検査内容はお客様の仕様書を見て、特殊な検査をお客様が求めていれば、そのお客様の求めている条件に合ったものを用意することになります。例えばお客様用の、お客様の用意した、お客様が自分のところの条件で、何と言ったらいいんでしょう、例えば感光剤レジストであれば、レジストの指定があればレジストは何を使うとか、そういったものの考慮は必要になります。

○	書類はこの間に何を作らなければいけないんでしょうか。
	■	まず引継書は作らなきゃいけないです。これは仕事を次に渡す上で必要です。また、引継書だけでは意味がないので、もちろんチェックシートにチェックをしなきゃいけません。ただチェックシートにチェックをするには、条件が合致してなければいけませんので、規格ですね、規格が合致してなければいけないので、その規格に合っている条件を知らなきゃいけないので、まあ、その条件を知らなければいけないので、お客様の検査手順書というのを読まなきゃいけないと、そういうことになります。

○	引継書は作るのにどれぐらいの時間が掛かるんですか。
	■	ええ・・・、これも機械の状態によって左右されますが、とにかく、トラブルがなく進んでいれば引継書というのは、次に何段階の検査をやってくださいで済みますが、そんなことはまずないです。お客様の規格というのは必ず存在していますので、このお客様のこの検査をやってくださいというような引継書の書き方になります。

○	ステッパーが動作している間に、のんびりできるような時間というのはあるんですか。
	■	のんびりは絶対ないです。

○	どうして、のんびりできないんですか。
	■	それはもう書類を読む、その書類を読んで、それを理解して、自分が何をするかを構成するのを考えなければいけない。また、その次の書類に、まあ書類というまとめ方は悪いですが、書類とまとめてしまうと書類を書かなければいけない、引継書を書かなければいけない。あと検査の手順も考えなければいけない。検査の手順を考えなきゃいけないには、お客様の求めているものが理解できなきゃいけない。お客様の求めているものを理解できなきゃいけなかったら、やっぱり製造時のデータとかを見て、まあ総合的に判断しなきゃいけないということになりますので。

○	作業中にステッパーを離れてクリーンルームの外で休むということはできるんですか。
	■	これは無理です。

○	どうして、無理なんですか。
	■	これは、リーダー、もしくは、リーダーが不在のときにはサブリーダー、が必ずＰＨＳを持っていますので、これでクリーンルーム内に呼び出しが掛けられます。

○	呼出しを掛けられると、どうして休めないんですか。
	■	これはクリーンルームの外では聞こえませんので、いつ呼び出されるか分からないのでクリーンルームから離れることは基本的にできません。トイレとかは、また別ですが。

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