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あなたが所属していた成検係でやっていた社内検査というのは、主にどういうことをやっていたんですか。 |
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主にステッパーとして動く状態に完成されたものを検査するということになります。機能検査になります。 |
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簡単に言うと、どういう検査をするんですか。 |
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簡単に言うと、ある検査用のレチクルのパターンをウエハーに露光して、そのウエハーを計測して値を求めるということになります。 |
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値を求めたものについては、それをそのまま紙に書けばいいと、そういうものなんですか。 |
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そういうものもありますが、ほとんどはそれを計算しなければいけないです。 |
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具体的にどういう計算をするんですか。 |
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お客様が決まっているマシン、号機、ステッパー。必ずお客様が決まっている、まあ決まっていないのもありますが、ほとんどお客様が決まっているので、お客様の規格で検査をしなければいけないです。また、お客様の規格で結果を出さなければいけないです。 |
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じゃあ、計算方法はどういうふうにして、どのようなものを基にして計算方法を求めるんですか。 |
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これは、お客様向けの規格書というのが、成検事務所のほうにあるんですが、そちらのほうで調べることになります。それに関してはニコンの営業さんがお客様と詰めた規格書なりますので、ニコン社内の規格とは違うものになります。 |
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計算はいつするんですか。 |
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これはステッパーが動作している時間は、ステッパーを直接検査員が操作することがないので、そういった時間にやることになります。 |
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その計算というものは難しいものなんですか。 |
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これはもう、お客様の仕様書を見ないと分かりません。 |
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