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それでは、ステッパーについて聞きますけれども、ステッパーには一括露光型というものとスキャン型というのが、大きく分けてあるようですが、どこがどういうふうにして違うんですか。 |
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はい、一括露光型というのは写真のようにレチクルのパターンをレンズを、簡単に言ってしまえばレチクルの上から光を当てて、それをレンズを通してウエハーに縮尺して、写真のようにぱっと光を当ててぱっと写せばいいだけですが、スキャン型というのはコピー機のように、ウエハーにレチクルパターンを縮小して写すんですが、一部分ずつ連続的にスキャンさせて露光さして、結果的にレチクルのパターンがウエハーに全部露光されるという方法になります。これは同時に動かしながら露光するということになります。 |
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同時に動かしながら露光するということですね。 |
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はい、そうです。レチクルとウエハーを同時にということです。 |
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スキャンステッパーはいつごろからニコンの熊谷製作所において主流となり始めたんですか。 |
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熊谷製作所でスキャンという言葉が一般的になってきたのは、平成10年になってからです。 |
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その平成10年ごろはスキャンステッパーの検査方法というのは、どのような感じだったんですか。 |
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これは、もう皆さん試行錯誤ということになります。とにかく、新しい世代の機械だったので、検査係のほうでも検査方法なりを試行錯誤していた状態になります。 |
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その前の年の平成９年はどのような形のステッパーが主流だったんですか。 |
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これは一括露光型という、簡単に写真のように写すようなステッパーになります。 |
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